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Ausschreibung: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - DE-Erfurt
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Dokument Nr...: 155479-2023 (ID: 2023031509055989202)
Veröffentlicht: 15.03.2023
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  DE-Erfurt: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
   2023/S 53/2023 155479
   Auftragsbekanntmachung
   Lieferauftrag
   Rechtsgrundlage:
   Richtlinie 2014/24/EU
   Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
   I.1)Name und Adressen
   Offizielle Bezeichnung: CiS Forschungsinstiut für Mikrosensorik GmbH
   Ort: Erfurt
   NUTS-Code: DEG01 Erfurt, Kreisfreie Stadt
   Land: Deutschland
   E-Mail: [6]clauf@cismst.de
   Internet-Adresse(n):
   Hauptadresse: [7]www.cismst.de
   I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
   Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben
   I.3)Kommunikation
   Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
   vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
   [8]https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YEN6A8Q/documents
   Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
   Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
   [9]https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YEN6A8Q
   I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
   Andere: mit öffentlichen Mitteln geförderte Forschungseinrichtung
   I.5)Haupttätigkeit(en)
   Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung
   Abschnitt II: Gegenstand
   II.1)Umfang der Beschaffung
   II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
   OPENSENS/2
   Referenznummer der Bekanntmachung: 2023-0044
   II.1.2)CPV-Code Hauptteil
   42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
   II.1.3)Art des Auftrags
   Lieferauftrag
   II.1.4)Kurze Beschreibung:
   Im Rahmen des Projektes "Optimierte Entwicklungsumgebung für ein
   ressourcenschonendes Mikrosensorik-Prototyping" möchte das CiS
   Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH in ein Testsystem zur
   Parametererfassung sowie in Zubehör für einen vollautomatisierten
   Waferprober (Typ MPI TS2000-IFE) investieren. In Kombination mit dem
   bereits beschafften Probing-System soll eine permanente
   Parametererfassung für das Mikrosensorik-Prototyping auf 6"-Waferebene
   ermöglicht werden.
   Verbunden mit einer leistungsfähigen schnellen Parameteroptimierung
   werden ressourcenschonende Entwicklungsprozesse möglich und flexible
   Entwicklungsergebnisse in kurzer Zeit zielgenau realisierbar (first
   time right).
   II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
   Wert ohne MwSt.: 110 000.00 EUR
   II.1.6)Angaben zu den Losen
   Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
   II.2)Beschreibung
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DEG01 Erfurt, Kreisfreie Stadt
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Testsystem inkl. Waferprober-Zubehör
   Lieferumfang:
   Das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH benötigt ein
   Testsystem zur Charakterisierung der Sensoren und Teststrukturen auf
   den Si-Wafern und Waferverbünden inkl. diverses Zubehör für einen
   vollautomatisierten Waferprober. Das Testsystem soll zu den vorhandenen
   Messprogrammen und -routinen kompatibel sein.
   Vorhandene Medien sind:
   - Stromanschluss 2-polig mit zusätzlicher Erdung 32 A
   - Vakuum
   - Reinstluft für Pneumatik (> 6 Bar)
   - Ethernetanschluss
   - Aufstellfläche + Wartungsbereich 2500 mm x 2000 mm
   - Max. Anlagenhöhe: 2800 mm
   Der Raumplan, mit vorhandenen Medien und Transportwegen, kann auf
   Anfrage zugestellt werden.
   Anlagenbeschreibung:
   Technische Daten:
   Anforderungen an das Messsystem:
   Das Messsystem zur Paramtererfassung soll folgende Eigenschaften
   bieten:
   - Durchführung von DC I-V und C-U Messungen
   - Schaltmatrix mit >= 36 Kanälen zum Schalten und Messen von niedrigen
   Strömen (pA) und Spannungen bis zu 1300V, Eingänge für Low Current,
   General Purpose sowie C-V Messung.
   - Hochspannung SMU mit >=1kV Ausgangsspannung, 1A, 20W,
   Vierquadrantenbetrieb, Measurement Resolution 10fA/100nV, TSP support
   - Alle Geräte fernsteuerbar über LAN und GPIB
   - Triax-Anschlüsse oder Adapter
   - 19" Rack inkl. Einbau und zusätzlichen Einlegeböden + Steckdosen, 38
   HE
   Benötigtes Zubehör für Waferprober System (Typ MPI TS2000-IFE):
   Probecard System zum schnellen Wechsel von Probecards im Testfeld:
   - Triaxial Anschlüsse zum Messen von pA
   - Kabelbaum zur Verkabelung mit Switchmatrix und Prober (z.B.
   Kantensucher) mit bis zu 36 Kanälen
   - Nadelkarten mit bis zu 30 Nadeln, projektspezifisch nachrüstbar
   - Temperaturbereich: 20°C - 200°C
   - Probecard muss in einer vorgegebenen Zeit ausgetauscht werden können:
   o Zeit t für Austauch: < 30s
   - Inkl. Muster Probecard mit 2x12 Nadeln für Pads Größe 100x100µm,
   Pitch in x-Richtung: 140µm, y-Richtung: 300µm
   Waferprober (MPI TS2000-IFE) Erweiterungskit:
   - Spezialchuckadapter 8" auf 4" zur Messung von
   4"-Differenzdruck-Sensorwafern (Vakuumansaugung nur am Waferrand
   (3,5mm) - Mitte ist hinterlüftet über Schlauchanschluss)
   - Spezialchuckadapter 8" auf 4" zur Messung von
   beidseitigstrukturierten 4"-Fotodetektor-Wafern mit Randauflage (4,0mm
   breit) und Randansaugung
   - Umbau Kit 4" für Waferhandling System mit folgenden Eigenschaften:
   o Es sollen mindestens 25 Stück 4-Zoll-Wafer bis 0,675 mm Dicke im
   Batch gehandelt werden können
   o Das Waferhandling soll ausschließlich im 3,5 mm breiten Randbereich
   (doppelseitig polierte Wafer) erfolgen
   o Kassettenstation, 25 Wafer pro Kassette bis 0,675 mm Dicke, e-Pak
   kompatibel oder 12 Wafer-Kassette für Waferverbünde 4" mit einer Dicke
   von 3,5 mm
   - Zweite Kassette für Standardwafer 4" - 0,675mm Dicke
   - 2 Spezialkassetten für Waferverbünde 4" mit einer Dicke von 3,5mm
   - Edgesenorkit, Schnittstelle zum Anschluss von 2 Kantensensoren,
   kompatible mit MPI TS2000 und Sentio, 3,5 mm Klinken-Stecker
   2 manuelle Positionierer (je 1x links, je 1x rechts positionierbar) mit
   12,5 mm XYZ Verfahrbereich mit 1 µm Auflösung einschließlich high
   performance DC Mess-Spitze (erweiterter Temperaturbereich >200°C, low
   noise, fully guarded, fA) mit Arm für Triaxan-schluss sowie Messspitzen
   und Kabel mit Triaxialanschlüssen.
   1 Adapter C-Mount Aufnahmen für eine Kamera ohne Fokusanpassung passend
   für PSM-1000 / VIS200-S Mikroskope
   Benötigtes Zubehör für Waferprober System (Süss PA200):
   - Spezialchuckadapter zur Messung von 6" Differenzdruck-Sensorenwafern,
   genauere Spezifikation auf Anfrage
   Softwarepaket:
   - Softwarepaket zum Testen und Charakterisieren elektronischer Bauteile
   und Waferstrukturen mittels Testskript (LUA, Python, C#)
   - Eingebauter Testsequenzer
   - Variable Schnittstelle zur Geräteprogrammierung
   - Frei programmierbare GUI
   - Steuerbar über Remote-Kommandos
   - Grafische und Tabellarische Darstellung der Messdaten
   - Vorgefertigte Gerätetreiber für Testsytem (siehe oben) sowie für
   Waferprober (MPI, Formfactor Velox)
   - Softwarelizenz für 2 Messplätze
   - Softwareupdates für mind. 5 Jahre und Windows 10/11 Unterstützung
   Weiteres:
   - Gewährleistung von 24 Monaten
   - Angabe eines Service-/Kalibrierkonzepts
   - Angabe von Wartungsintervallen, Wartungskosten, Betriebskosten pro
   Jahr
   - Angabe von 2 Referenzen über vergleichbare Anlagen
   Dokumente:
   - Bedienungsanleitung für alle Komponenten in deutscher/englischer
   Sprache
   - Aufstell- und Anschlussbedingungen bzw. -parameter
   Liefer- und Anschlussbedingungen:
   - Verpackung inklusive
   - Versand inklusive
   - Transportversicherung inklusive
   - Aufstellung inklusive, Einbringung 1. OG
   - Installation inklusive
   - Inbetriebnahme inklusive
   - Nachweis der Funktionsfähigkeit aller Komponenten
   - Einweisung und Schulung/ Training (2 Tage) der Nutzer (bis zu 4
   Personen)
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Die nachstehenden Kriterien
   Preis
   II.2.6)Geschätzter Wert
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Beginn: 16/05/2023
   Ende: 30/09/2023
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja
   Projektnummer oder -referenz:
   2022 WIN 0044
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
   Angaben
   III.1)Teilnahmebedingungen
   III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
   hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
   Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:
   Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter,
   jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer,
   auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein
   Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen
   will, vorzulegen:
   1) Formblatt L 124_EU Eigenerklärung zur Eignung mit Erklärungen zu:
   - Angabe über Ausschlussgründe gemäß § 42 VgV in Verbindung mit §§ 123
   und § 124 GWB
   - Angabe zu Insolvenzverfahren und Liquidation
   - Angabe zur Zahlung von Steuern und Abgaben und Beiträgen zur
   Sozialversicherung
   Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter,
   jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer,
   auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein
   Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will
   auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
   2) Berufs- bzw. Handelsregisterauszug
   3) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes - soweit
   Finanzamt Bescheinigungen ausstellt
   4) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung der tariflichen Sozialkasse -
   soweit Betrieb beitragspflichtig
   5) Freistellungsbescheinigung nach § 48b EstG
   6) Eintragung in der Handwerksrolle oder bei der Industrie- oder
   Handwerkskammer oder sonstiger Nachweis
   Da die Vergabestelle nach § 36 Abs. 5 Satz 1 VgV gehalten ist, vor der
   Zuschlagserteilung in Bezug auf reine Nachunternehmer die
   Voraussetzungen des §§ 123, 124 GWB zu prüfen, sind die Unterlagen 1) -
   6) ggf. vom Nachunternehmer
   (ohne Eignungsleihe) auf gesondertes Anfordern vorzulegen.
   Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor
   Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er
   gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des
   Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen.
   Der Nachweis einer Befähigung zur Berufsausübung kann auch durch die
   gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten
   Präqualifikationsverfahrens geführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).
   III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
   Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
   Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter
   sowie jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft vorzulegen:
   Nachweis einer Berufs- oder Betriebshaftpflichtversicherung für
   Personenschäden in Höhen von mindestens 2.000.000,00 EUR und für Sach-
   und Vermögensschäden in Höhe von 2.000.000,00 EUR gemäß Ziffer III der
   Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU)
   Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter
   sowie jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft auf gesondertes Verlangen
   vorzulegen:
   7) Zusicherung der Versicherung bzw. entsprechender
   Versicherungsnachweis
   Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor
   Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er
   gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des
   Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der wirtschaftlichen
   und finanziellen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige
   Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten
   Präqualifikationsverfahrensgeführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).
   III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
   Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
   Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter,
   jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer,
   auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein
   Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen
   will, vorzulegen:
   Vorlage geeigneter Referenzen (mindestens zwei Referenzen) über früher
   ausgeführte Liefer- und Dienstleistungen der in den letzten drei Jahren
   erbrachten wesentlichen Leistungen gemäß Ziffer IV der Eigenerklärung
   zur Eignung (Formblatt L 124_EU).
   Aus der Beschreibung der Referenz muss klar erkennbar sein, welche
   Leistungen der Bewerber oder das Mitglied der Bewerbergemeinschaft oder
   ein Dritter, auf dessen Leistungsfähigkeit abgestellt wird,
   selbstdurchgeführt hat. Die bloße untergeordnete Mitwirkung ist nicht
   ausreichend. Der Auftraggeber behält sich die Überprüfung der Angaben
   bei den Referenzauftraggebern sowie eigene Ermittlungen vor. Die
   Ergebnisse der eigenen Ermittlungen werden bei der Bewertung
   Berücksichtigung finden.
   Lieferant weist die technologischen Parameter an einer Demoanlage mit
   gleicher Ausstattung unter Reinraumbedingungen in Form von Testwafern
   nach.
   Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter,
   jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer,
   auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein
   Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will
   auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
   8) Bescheinigung über die ordnungsgemäße Ausführung und das Ergebnis
   der genannten Leistungen
   Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor
   Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er
   gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des
   Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der technischen und
   beruflichen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige
   Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten
   Präqualifikationsverfahrensgeführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG). Es
   müssen mindestens zwei Referenzen vorgelegt werden.
   III.2)Bedingungen für den Auftrag
   III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
   Ausführungsbedingungen nach dem Thüringer Vergabegesetz:
   - Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz,
   gemäß § 17 ThürVgG - Kontrollen sowie § 18 ThürVgG - Sanktionen
   - Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit
   (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)
   - Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12
   Abs. 2 ThürVgG)
   Gemäß § 12a Abs. 2 ThürVgG weisen wir darauf hin, dass der Bestbieter
   im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG
   verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung
   innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen muss und dass, bei
   nicht fristgerechter Vorlage, das Angebot von der Wertung
   auszuschließen ist.
   Es handelt sich dabei um folgende Erklärungen und Nachweise:
   - Formblatt "Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG -
   Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG -Kontrollen sowie § 18
   ThürVgG - Sanktionen"
   - Formblatt "Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und
   Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
   - Formblatt "Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§
   11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
   Zudem müssen im Falle eines anfänglichen Nachunternehmereinsatzes
   spätestens vor der Auftragserteilung folgenden Formblätter beim
   Auftraggeber vorliegen:
   - Formblatt "Verpflichtung des Nachunternehmers zur Tariftreue,
   Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
   - Formblatt "Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§
   11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
   Der Bestbieter muss im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die
   nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise
   nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen.
   Bei nicht fristgerechter Vorlage ist das Angebot von der Wertung
   auszuschließen.
   Abschnitt IV: Verfahren
   IV.1)Beschreibung
   IV.1.1)Verfahrensart
   Offenes Verfahren
   IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
   Beschaffungssystem
   IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
   Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
   IV.2)Verwaltungsangaben
   IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
   Tag: 17/04/2023
   Ortszeit: 12:00
   IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
   Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
   IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
   eingereicht werden können:
   Deutsch
   IV.2.6)Bindefrist des Angebots
   Das Angebot muss gültig bleiben bis: 30/06/2023
   IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
   Tag: 17/04/2023
   Ortszeit: 13:00
   Abschnitt VI: Weitere Angaben
   VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
   Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
   VI.3)Zusätzliche Angaben:
   Bekanntmachungs-ID: CXP4YEN6A8Q
   VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
   VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
   Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Freistaats Thüringen beim
   Thüringer Landesverwaltungsamt
   Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
   Ort: Weimar
   Postleitzahl: 99423
   Land: Deutschland
   VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
   Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
   "Der Nachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 GWB unzulässig, soweit:
   1) der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen
   Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und
   gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10
   Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB
   bleibt unberührt,
   2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung
   erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der
   Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe
   gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
   3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den
   Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der
   Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber
   gerügt werden,
   4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des
   Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zuwollen, vergangen sind."
   VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
   10/03/2023
References
   6. mailto:clauf@cismst.de?subject=TED
   7. http://www.cismst.de/
   8. https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YEN6A8Q/documents
   9. https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YEN6A8Q
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