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Öffentliche Ausschreibungen

Titel : DEU-Paderborn - Deutschland Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft ICPCVD- Beschichtungsanlage
Dokument-Nr. ( ID / ND ) : 2024121701463879386 / 772359-2024
Veröffentlicht :
17.12.2024
Anforderung der Unterlagen bis :
08.01.2025
Angebotsabgabe bis :
16.01.2025
Dokumententyp : Ausschreibung
Produkt-Codes :
38970000 - Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft
DEU-Paderborn: Deutschland Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen
und Wissenschaft ICPCVD- Beschichtungsanlage

2024/S 245/2024 772359

Deutschland Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft ICPCVD-
Beschichtungsanlage
OJ S 245/2024 17/12/2024
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferungen

1. Beschaffer

1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Universität Paderborn
E-Mail: beschaffung@zv.upb.de
Rechtsform des Erwerbers:
Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung

2. Verfahren

2.1. Verfahren
Titel: ICPCVD-Beschichtungsanlage
Beschreibung: Ausgeschrieben wird eine Anlage zur chemischen Gasphasenabscheidung
mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-CVD). Die Anlage soll ein Kernstück der
waferprozessierenden Infrastruktur darstellen und wird im Reinraum der Universität Paderborn
aufgestellt. Die Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an
die Wafergröße (bis zu 8 Zoll), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die bei
niedrigen Abscheidungsdrücken und -temperaturen (?20°C) mittels der Anlage
abgeschiedenen Schichten sollen von hoher Qualität mit geringen Schäden und einer hohen
nasschemischen Ätzbeständigkeit sein und eine hohe Konformität bzw. Stufenabdeckung
aufweisen. Bei den abzuscheidenden Schichten soll es sich unter anderem um SiO2, Si3N4,
SiOxNy, a-Si:H und SiC handeln.
Kennung des Verfahrens: 4ad15678-a2b1-47b1-ad71-3f8ba1717fc7
Interne Kennung: 200/92/24/1
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein

2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38970000
Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft

2.1.2. Erfüllungsort
Stadt: 33098
Land, Gliederung (NUTS): Paderborn (DEA47)
Land: Deutschland

2.1.4. Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Bekanntmachungs-ID: CXS0YYPYTYUAN6N8 Die Vergabestelle
der Universität Paderborn lässt generell nur die Abgabe elektronischer Angebote zu. Für die
Übermittlung Ihres Angebotes nutzen Sie bitte ausschließlich das Vergabeportal und das dort
bereitgestellte Tool als Kommunikationsmittel. Angebote, die uns per Fax oder E-Mail

erreichen, werden sofort ausgeschlossen! Dies gilt ebenso für Angebote, die postalisch an uns
gesendet werden.
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6. Ausschlussgründe
Rein innerstaatliche Ausschlussgründe: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: vgl. § 123
Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Korruption: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: vgl. §
123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Betrugsbekämpfung: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124
GWB
Zahlungsunfähigkeit: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4
GWB, § 124 GWB
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen
Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.:
vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: vgl. § 123 Abs. 1 bis
4 GWB, § 124 GWB
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: vgl. § 123 Abs.
1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124
GWB
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: vgl. § 123
Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Entrichtung von Steuern: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: vgl.
§ 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB

5. Los

5.1. Los: LOT-0001
Titel: ICPCVD-Beschichtungsanlage
Beschreibung: Geliefert, installiert und in Betrieb genommen werden soll eine Anlage zur
chemischen Gasphasenabscheidung mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-CVD). Die
detaillierte Leistungsbeschreibung entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen
(Kriterienkatalog)
Interne Kennung: 200/92/24/1

5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38970000
Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft

5.1.2. Erfüllungsort
Stadt: 33098
Land, Gliederung (NUTS): Paderborn (DEA47)
Land: Deutschland

5.1.3. Geschätzte Dauer
Laufzeit: 10 Monate

5.1.4. Verlängerung
Maximale Verlängerungen: 0

5.1.6. Allgemeine Informationen
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten
Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja

5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Innovative Beschaffung
Innovatives Ziel:
Die in Auftrag gegebenen Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen umfassen
Forschungs- und Entwicklungstätigkeiten.

5.1.9. Eignungskriterien
Kriterium:
Art: Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Bezeichnung: Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Beschreibung: 1. Eigenerklärung über das Bestehen einer branchenüblichen
Betriebshaftpflichtversicherung unter Nennung des Versicherungsgebers sowie der
Deckungssummen für Personenschäden, Sachschäden und Vermögensschäden. Wichtiger
Hinweis: Die Hinweise aus Ziffer III.1.1) hinsichtlich des Nachforderns von Nachweisen und
Erklärungen gelten entsprechend.

Kriterium:
Art: Eignung zur Berufsausübung
Bezeichnung: Eignung zur Berufsausübung
Beschreibung: Hinweise: Soweit lediglich Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der
Auftraggeber das Recht vor, zur Behebung von Zweifeln entsprechende Bescheinigungen
oder Nachweise von den Bietern nachzufordern. Kopien von Nachweisen werden anerkannt,
sofern sie keinen Anlass zu Zweifeln an der Übereinstimmung mit dem Original geben. Bitte
reichen Sie unbedingt die Nachweise und Erklärungen in der hier angegebenen Reihenfolge
ein! Sollten die geforderten Erklärungen oder Nachweise unvollständig oder unzureichend
sein, kann der Bieter von dem weiteren Verfahren ausgeschlossen werden! Ein Bieter kann
nicht darauf vertrauen, dass der Auftraggeber Gelegenheit zur Ergänzung oder
Vervollständigung gibt, das Recht hierzu behält er sich jedoch vor. Sofern sich der Bieter auf
die Eignung anderer Unternehmen (im Rahmen einer Bietergemeinschaft oder bzgl.

Nachunternehmer) beruft, sind die jeweiligen Erklärungen und Nachweise (insb.
Eigenerklärungen und Referenzen) durch dieses oder diese Unternehmen zu führen. Der
Bieter/ die Bietergemeinschaft hat außerdem bei Aufforderung durch den Auftraggeber noch
vor Zuschlagserteilung eine Verpflichtungserklärung des oder der jeweiligen Nachunternehmer
(s) beizubringen. Weiter behält der Auftraggeber sich vor, auch von den Unternehmen, die
zwar Nachunternehmer einsetzen, sich jedoch nicht zum Nachweis der Leistungsfähigkeit und
Fachkunde auf die Nachunternehmer beziehen, vor Zuschlagserteilung die entsprechenden
Nachweise zur Zuverlässigkeit, Fachkunde und Leistungsfähigkeit der Nachunternehmer und
ggf. eine Verpflichtungserklärung einzuholen. Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind,
um die Einhaltung der Auflagen zu überprüfen: Eigenerklärungen, dass 1. die in § 123 Abs. 1
bis 4 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe und 2. die in § 124 Abs. 1 GWB
aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe nicht vorliegen und - soweit das der Fall ist - ggf.
Maßnahmen zur Selbstreinigung nach § 125 Abs. 1 S. 1 GWB getroffen wurden, mit
Darstellung derselben unter Berücksichtigung der Anforderungen aus § 125 Abs. 1 S. 1 GWB.
3. das Unternehmen in einem Berufs- oder Handelsregister eingetragen ist. Für die
Mitgliedstaaten der Europäischen Union sind die jeweiligen vergleichbaren Berufs- oder
Handelsregistereinträge nachzuweisen. 4. das Unternehmen Mitglied in einer
Berufsgenossenschaft ist. (Unternehmen, die Ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik
Deutschland haben, geben den für sie zuständigen Versicherer an.)

5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 08/01/2025 23:59:00 (UTC+1)
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice
/CXS0YYPYTYUAN6N8/documents
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YYPYTYUAN6N8

5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice
/CXS0YYPYTYUAN6N8
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig
Beschreibung der finanziellen Sicherheit: Etwaige Vorauszahlungen erfolgen ausschließlich
gegen die Vorlage einer selbstschuldnerischen Bankbürgschaft seitens des Bieters.
Frist für den Eingang der Angebote: 16/01/2025 12:00:00 (UTC+1)
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 60 Tage
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können einige fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Es werden lediglich Unterlagen zur Eignungsfeststellung
nachgefordert.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungsdatum: 16/01/2025 12:00:00 (UTC+1)
Auftragsbedingungen:

Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Öffentliche Auftraggeber sind gem. § 6 Abs. 1.
Wettbewerbsregistergesetz (WRegG) verpflichtet, vor Erteilung des Zuschlags für einen
öffentlichen Auftrag beim Wettbewerbsregister elektronisch abzufragen, ob das Unternehmen,
das den Auftrag erhalten soll, eingetragen ist.
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
Informationen über die Überprüfungsfristen: 1. Der geltend gemachte Verstoß gegen
Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb
einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt. 2. Verstöße gegen
Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen bis
spätestens zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber
gerügt werden. 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen
erkennbar waren, müssten bis zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder der Angebotsfrist
gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden. 4. Ein Nachprüfungsantrag muss innerhalb von
15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen
zu wolle, eingehen.

5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer bei der Bezirksregierung Münster
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Universität
Paderborn
TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts
des BMI)

8. Organisationen

8.1. ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Universität Paderborn
Registrierungsnummer: DEA47
Postanschrift: Warburger Str. 100
Stadt: Paderborn
Postleitzahl: 33098
Land, Gliederung (NUTS): Paderborn (DEA47)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Dezernat 1.4 - Beschaffung
E-Mail: beschaffung@zv.upb.de
Telefon: +49 5251-600
Fax: +49 5251-602536
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1. ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer bei der Bezirksregierung Münster
Registrierungsnummer: DEA33
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Straße 9
Stadt: Münster
Postleitzahl: 48143
Land, Gliederung (NUTS): Münster, Kreisfreie Stadt (DEA33)
Land: Deutschland
E-Mail: vergabekammer@bezreg-muenster.nrw.de
Telefon: +49 2514110
Fax: +49 2514112165
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle

8.1. ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1. Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: bcaabe78-c33b-426f-9221-ea90e4fa8fc8 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 16/12/2024 10:03:11 (UTC+1)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch

11.2. Informationen zur Veröffentlichung
ABl. S Nummer der Ausgabe: 245/2024
Datum der Veröffentlichung: 17/12/2024

Referenzen:
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YYPYTYUAN6N8
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YYPYTYUAN6N8/documents
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202412/ausschreibung-772359-2024-DEU.txt

 
 
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